RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Физика и техника полупроводников
// Архив
Физика и техника полупроводников,
1989
, том 23,
выпуск 1,
страницы
178–180
(Mi phts3209)
Краткие сообщения
О диффузии водорода в кремнии
Э. М. Омельяновский
,
А. В. Пахомов
,
А. Я. Поляков
, О. М. Бородина
Полный текст:
PDF файл (457 kB)
©
МИАН
, 2024