RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1989, том 23, выпуск 2, страницы 352–355 (Mi phts3243)

Электрофизические свойства пленок PbTe, облученных ионами аргона

И. А. Аброян, Б. З. Алиев, С. Д. Имамкулиев, С. А. Казьмин, В. И. Кайданов, Г. Д. Касаманли


Аннотация: Показано, что при облучении РbТе ионами аргона преимущественно создаются но разупорядоченные области, а точечные радиационные дефекты донорного типа, изменяющие электрические свойства материала на глубинах, значительно превышающих проективный пробег. Определено энергетическое положение соответствующего дефектам квазилокального уровня, стабилизирующего при больших дозах положение уровня Ферми и концентрацию электронов проводимости. Установлено, что послеимплантационный отжиг при $300^{\circ}$С возвращает свойства пленок к исходным.



© МИАН, 2024