Межузельные состояния примесей переходных металлов в кремнии. I. Теория миграции

Рассмотрена модель, позволяющая определить величину энергетического барьера миграции примесей переходных металлов в кремнии. В основе модели лежат понятия о потенциалах взаимодействия примесного атома с атомами окружения с учетом локальных искажений кристаллической решетки, различий в действии кристаллического поля на $d$-орбитали примесного атома при его нахождении в равновесном положении и в седловой точке. Показано влияние взаимодействия валентных электронов атомов кремния с $d$-электронами примесного атома на величину энергетического барьера миграции.