RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1989, том 23, выпуск 4, страницы 688–692 (Mi phts3318)

Межузельные состояния примесей переходных металлов в кремнии. III. Теория растворимости

В. И. Фистуль, В. А. Шмугуров


Аннотация: Предложена физико-химическая модель растворения примесей переходных металлов в кремнии в позициях внедрения, в основе которой лежат понятия о потенциалах взаимодействия примесного атома с атомами кристаллической решетки. Учитываются влияние кристаллического поля на электронные конфигурации примесных $d$-атомов, локальные искажения кристаллической решетки, поляризация решетки в случае ионизованного состояния примесного атома. Модель позволяет рассчитать энтальпию растворения и определить преимущественные зарядовые состояния примесей переходных металлов в междоузлиях решетки кремния.



© МИАН, 2024