Краткие сообщения

Скорость введения и профиль концентрации $A$-центров в $n$-кремнии, облученном электронами с энергией вблизи порога дефектообразования

Л. С. Берман, Н. А. Витовский, В. Б. Воронков, В. Н. Ломасов, А. Д. Ремешок, В. Н. Ткаченко, М. Г. Толстобров