Исследование флуктуаций удельного сопротивления в $\gamma$-легированном кремнии

Исследованы флуктуации удельного сопротивления в кремнии $p$-типа проводимости, легированном алюминием методом ядерных реакций под действием $\gamma$-квантов при концентрациях вводимых атомов до $10^{14}\,\text{см}^{-3}$. Для ядерного легирования в качестве исходных использовались промышленные монокристаллы $n$- и $p$-типа проводимости диаметром от 30 до 82 мм. Облучение кремния $\gamma$-квантами тормозного излучения проводилось на линейном ускорителе электронов «Факел» при максимальной энергии $\gamma$-квантов ${\sim35}$ МэВ. С помощью четырехзондового метода и метода сопротивления растекания в точечном контакте были измерены профили распределения величин удельного сопротивления на торцевых поверхностях монокристаллов $\gamma$-легированного кремния (ГЛК). Рассмотрена зависимость величин разброса удельного сопротивления ГЛК от типа проводимости исходных материалов и степени легирования. Показано, что методика $\gamma$-легирования позволяет получать монокристаллы кремния $p$-типа проводимости с макро- и микронеоднородностями удельного сопротивления на уровне нескольких процентов.