RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1989, том 23, выпуск 10, страницы 1869–1873 (Mi phts3580)

Емкостная спектроскопия глубоких уровней облученных твердых растворов германий$-$кремний

И. Н. Белокурова, О. В. Третяк, С. И. Шаховцова, М. М. Шварц, А. А. Шматов


Аннотация: Методом DLTS исследованы облученные $\gamma$-квантами $^{60}$Со барьеры Шоттки, изготовленные на твердых растворах Ge$_{1-x}$Si$_{x}$ (${0\leqslant x\leqslant0.04}$), легированных сурьмой. Получены основные параметры радиационных дефектов, изучены кинетика дефектообразования на начальных стадиях облучения и влияние отжига на термическую стабильность радиационных дефектов. Предложен новый метод обработки сложных спектров DLTS.



© МИАН, 2024