Распад преципитатов никеля в монокристаллах кремния под влиянием всестороннего сжатия

Проанализирован распад преципитатов никеля в кремнии под влиянием всестороннего гидростатического давления. С помощью теории Мотта и Набарро с использованием упругих констант и постоянных решеток Si, SiO$_{2}$, Ni и различных модификаций силицидов никеля рассчитаны величины создаваемых ими внутренних упругих напряжений.
Показано, что преципитатами в Si$\langle\text{Ni}\rangle$ являются силицидные выделения никеля, которые подтверждены экспериментально с помощью микроскопии и рентгенофазного анализа. На основе анализа полученных результатов предложена модель преципитатов Ni в Si.