Теплопроводность карбида кремния в области температур 300$-$3000 K

Рассмотрена теплопроводность карбида кремния, как чистого, так и легированного атомами азота и алюминия. Показано, что, кроме трехфононных процессов, необходимо учитывать также четырехфононные процессы и оптико-акустическое взаимодействие. При легировании выше уровня $10^{18}$ см$^{-3}$ для азота и $10^{17}$ см$^{-3}$ для алюминия значительный вклад вносят поля упругих деформаций. Проведенная впервые оценка вклада собственных носителей в общую теплопроводность показала, что заметные изменения в температурной зависимости теплопроводности наступают при температурах выше 1800 K.