Физика и техника полупроводников,
1986, том 20, выпуск 9,страницы 1634–1639(Mi phts374)
Вольтамперные характеристики поверхностно-барьерных структур
Au$-$GaAs$_{1-x}$Sb$_{x}$
В. Н. Каряев, Х. Г. Нажмудинов, М. В. Егорова, И. Г. Савельев
Аннотация:
Исследованы температурные зависимости вольтамперных
характеристик барьеров Шоттки Au$-$GaAs$_{1-x}$Sb$_{x}$${0.01 < x< 0.12}$ в диапазоне температур
${77\leqslant T\leqslant300}$ K. Определены технологические параметры
барьеров: толщина диэлектрической прослойки ${20\div30}$ Å и плотность
поверхностных состояний
${(0.5\div4)\cdot10^{13}\,\text{см}^{-2}\cdot\text{эВ}^{-1}}$. Показано,
что как при прямых, так и при обратных смещениях ток определяется
туннелированием через места с повышенной вероятностью туннелирования,
связанные с поверхностными состояниями на границе окисел–твердый раствор.
Обнаружено, что формирование этих поверхностных состояний, плотность
которых имеет минимум при составах твердого раствора ${x\simeq0.06}$,
главным образом обусловлено дефектами, развивающимися из объема полупроводника.