Влияние $\gamma$-радиации на поверхностную генерацию-рекомбинацию
в полупроводниковых структурах на основе GaAs
О. Ю. Борковская,
Н. Л. Дмитрук,
Р. В. Конакова,
В. Г. Литовченко, О. И. Маева
Аннотация:
Исследовано влияние облучения
$\gamma$-квантами
$^{60}$Со на электрические
и фотоэлектрические характеристики поверхностно-барьерных структур типа
барьера Шоттки и МДП с анодным окислом, изготовленных на одних и тех же
эпитаксиальных пленках
$n{-n^{+}$-GaAs}. С помощью
методики релаксации емкости при смещении МДП структур в область истощения
измерены генерационное время жизни
$\tau_{g}$ и скорость поверхностной
генерации
$S_{g}$, а по полевым и спектральным характеристикам фототока
короткого замыкания диодов Шоттки — безызлучательное рекомбинационное время
жизни
$\tau_{p}$. Немонотонные дозовые зависимости этих параметров
свидетельствуют о том, что имеется область доз, в которой поверхностная
генерация-рекомбинация ослабляется, причем оптимальная доза для
$S_{r}$
несколько ниже, чем для объемного (подповерхностного) времени жизни
$\tau_{p}$. Таким образом, как приповерхностная область кристалла,
так и его граница раздела с металлом являются структурно-метастабильными,
и облучение способствует их упорядочению. Аналогичный эффект имеет место
и в случае неотожженных МДП структур, причем оптимальная доза облучения
здесь меньше, чем для границы раздела металл–GaAs, т. е. граница раздела
GaAs–анодный окисел менее неравновесна, чем граница GaAs–металл. Общий
вывод работы: величина эффекта радиационного излучения зависит от исходной
структурно-примесной неравновесности границы раздела.
Обсуждается возможный механизм наблюдаемого явления.