Краткие сообщения

Влияние поверхностной диссоциации на свойства ионно-имплантированных $p$-слоев карбида кремния

В. А. Гудков, Г. А. Крысов, В. В. Макаров

Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина

Поступила в редакцию: 07.06.1985
Принята в печать: 01.08.1985