Фотолюминесценция аморфных пленок $a$-Si$_{1-x}$C$_{x}$ : H
В. А. Васильев
, А. С. Волков
, Е. Мусабеков
,
Е. И. Теруков,
В. Е. Челноков, С. В. Чернышев
,
Ю. М. Шерняков
Аннотация:
Исследованы основные характеристики
стационарной фотолюминесценции (ФЛ), ее температурная
зависимость, а также кинетика затухания ФЛ пленок
$a$-Si
$_{1-x}$C
$_{x}$ : H различного состава, полученных разложением
смеси газов SiH
$_{4}{-}$CH
$_{4}{-}$Ar в ВЧ тлеющем разряде.
Показано, что ФЛ состоит из одной почти симметричной
полосы, положение максимума которой и полуширина растут
с ростом
$x$ от значений 1.4 и 0.30 эВ при
$x=0$ до значений
2.3
$-$2.9 и 0.8 эВ при
$x\sim 1$. При этом резко ослабляется
температурное гашение интенсивности ФЛ, а кинетика ее
затухания на несколько порядков убыстряется, демонстрируя
переход от туннельной к экситоноподобной излучательной
рекомбинации.
При возбуждении \glqqхвост
$-$хвост» обнаружено крыло антистоксовского
излучения, относительная интенсивность которого увеличивается
по мере роста температуры и уменьшения энергии возбуждающих
квантов. Обсуждаются возможные причины сильной пространственной
корреляции неравновесных электронов и дырок в пленках,
обогащенных углеродом. На основании данных по антистоксовскому
излучению делается вывод о том, что причиной такой корреляции
является локализация носителей заряда на микронеоднородностях
аморфной структурной сетки. Делается предположение о том, что
эти неоднородности представляют собой нанокластеры графитовой фазы.
Анализ концентрационных зависимостей параметров ФЛ приводит также
к заключению о том, что пленки
$a$-Si
$_{1-x}$C
$_{x}$ : H,
выращенные указанным
выше методом, остаются однородными лишь при малом содержании
углерода (
$x < 0.3\div 0.4$).