Физика и техника полупроводников,
1990, том 24, выпуск 5,страницы 871–874(Mi phts3842)
Поведение центров золота в кремнии $n$-типа после нейтронного
и $\gamma$-облучения и механической обработки поверхности
Ю. А. Капустин, Б. М. Колокольников, В. В. Котов, А. В. Медведков
Аннотация:
Методом нестационарной емкостной спектроскопии
глубоких уровней (НЕСГУ) проведено исследование влияния нейтронного и
$\gamma$-облучения и механической обработки поверхности на поведение центров золота
в кремнии $n$-типа. Установлено, что нейтронное облучение дозой более
$10^{14}\,\text{см}^{-2}$ и механическая обработка поверхности приводят к
значительному уменьшению концентрации электрически активных центров золота в
$n$-кремнии, а $\gamma$-облучение дозой до $10^{8}$ рад не изменяет их
концентрации. На основании полученных результатов сделан вывод о том, что
переход электрически активных центров золота в $n$-Si в электрически
неактивное состояние обусловлен изменением их динамического поведения,
связанного с воздействием полей упругих напряжений, возникающих в образцах
после нейтронного облучения дозой ${>10^{14}\,\text{см}^{-2}}$
и механической обработки поверхности.