Контроль распределения примесей III и V групп в кремнии по интенсивности донорно-акцепторной люминесценции

Показано, что при локальном фотовозбуждении образцов кремния, легированных примесями III или V групп в концентрациях $10^{16}{-}10^{17}\,\text{см}^{-3}$, возможен контроль распределения примесей путем сканирования возбуждающим лучом и регистрации относительной интенсивности донорно-акцепторной люминесценции, пропорциональной произведению концентраций доноров и акцепторов.