Краткие сообщения

Высокотемпературная ионная имплантация мышьяка в кремний

П. А. Александров, Е. К. Баранова, В. В. Бударагин, К. Д. Демаков, Е. В. Котов, А. П. Новиков, С. Г. Шемардов