Краткие сообщения

Отжиг дефектов и электрическая активация примеси в процессе высокоинтенсивного ионного легирования кремния

Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков, И. А. Радишевский, Т. Т. Самойлюк, В. П. Толстых