Распределение атомов кремния по пороговой энергии смещения и его зависимость от температуры

Методом двойной изотермической релаксации емкости измерены энергетические зависимости скоростей введения $A$-центров и комплексов C$_{i}{-}$C$_{s}$ (межузельный$-$узельный углерод) в кремнии при облучении электронами. Экспериментально определена зависимость вероятности смещения регулярного атома от мгновенно полученной им энергии при $T= 300$ и 500 К. Установлено, что регулярные атомы характеризуются эффективной пороговой энергией смещения $E_{d}^{\text{эфф}}=38{-}40$ эВ. Показано, что вероятность смещения регулярного атома из узла при получении им энергии $E \leqslant 30$ эВ не превышает 2 %.