RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1990, том 24, выпуск 10, страницы 1862–1866 (Mi phts4048)

О механизме воздействия изовалентной примеси In на свойства и ансамбль дефектов GaAs, выращиваемого методом молекулярно-лучевой эпитаксии

Д. И. Лубышев, В. П. Мигаль, В. В. Преображенский, Б. Р. Семягин, С. И. Стенин, В. В. Чалдышев, Ю. В. Шмарцев


Аннотация: С помощью низкотемпературной фотолюминесценции исследовано влияние изовалентного легирования арсенида галлия индием в процессе молекулярно-лучевой эпитаксии на концентрацию донорных и акцепторных фоновых примесей, а также дефектов решетки. Предложен механизм, объясняющий обнаруженную в данной работе значительную часть известных из литературы изменений концентраций дефектов и примесей при изовалентном легировании GaAs индием в процессе МЛЭ. Этот механизм заключается в изменении отклонения от стехиометрии в кристалле в пользу атомов мышьяка при неизменном соотношении [III ]/[ V] на поверхности роста вследствие особенностей встраивания атомов индия в кристалл.



© МИАН, 2024