Физика и техника полупроводников,
1990, том 24, выпуск 10,страницы 1862–1866(Mi phts4048)
О механизме воздействия изовалентной примеси In на свойства
и ансамбль дефектов GaAs, выращиваемого методом молекулярно-лучевой
эпитаксии
Д. И. Лубышев, В. П. Мигаль, В. В. Преображенский, Б. Р. Семягин, С. И. Стенин, В. В. Чалдышев, Ю. В. Шмарцев
Аннотация:
С помощью низкотемпературной фотолюминесценции
исследовано влияние изовалентного легирования
арсенида галлия индием в процессе молекулярно-лучевой
эпитаксии на концентрацию донорных и
акцепторных фоновых примесей, а также дефектов решетки.
Предложен механизм, объясняющий
обнаруженную в данной работе значительную часть
известных из литературы изменений концентраций
дефектов и примесей при изовалентном легировании
GaAs индием в процессе МЛЭ. Этот механизм
заключается в изменении отклонения от стехиометрии
в кристалле в пользу атомов мышьяка при
неизменном соотношении [III ]/[ V] на поверхности
роста вследствие особенностей встраивания атомов
индия в кристалл.