О природе $K$-центра в кремнии

Методами емкостной спектроскопии исследована зависимость скорости введения $A$- и $K$-центров в $p$-базе кремниевых диодов, облученных электронами с энергией 900 кэВ, от электрическогоe поля в области объемного заряда. Показано, что электрическое поле увеличивает скорость введения $A$- и $K$-центров. Исследована зависимость скорости введения $K$-центров от энергии электронов в интервале 300$-$900 кэВ. Эта зависимость совпадает с измеренными ранее энергетическими зависимостями скоростей введения $A$-центров и комплексов межузельный-узельный углерод. На основании анализа экспериментальных данных показано, что $K$-центр содержит помимо кислорода и углерода одну вакансию.