Термическая эффузия водорода в пленках $a$-C : H, полученных методом плазмохимического осаждения

Исследована термическая эффузия (ТЭ) водорода в пленках $a$-C : H, полученных из смеси 10% СН$_{4}+90$% Ar методом плазмохимического газофазного осаждения в ВЧ разряде. Обнаружено, что ТЭ водорода в исследованных пленках имеет одну характерную температуру для «алмазоподобных» и две — для «графитоподобных» пленок. Из сравнения результатов ТЭ и ИК спектроскопии оценено содержание водорода в исследованных пленках. Из кинетики ТЭ и изменения ИК поглощения пленок в процессе отжига делаются выводы о форме связывания водорода в них.