А. М. Чапланов, А. Н. Шибко, А. В. Лазаренко, Е. С. Чебуков, В. И. Энгелько, А. Л. Бортнянский, М. Л. Клопенков, М. В. Павловец, “Влияние электронно-лучевой обработки на контакт титан$-$кремний”, Физика и техника полупроводников, 1991, том 25, выпуск 3,страницы 417

Влияние электронно-лучевой обработки на контакт титан$-$кремний

А. М. Чапланов, А. Н. Шибко, А. В. Лазаренко, Е. С. Чебуков, В. И. Энгелько, А. Л. Бортнянский, М. Л. Клопенков, М. В. Павловец

Аннотация: Исследовались структурные и фазовые превращения, изменение электрофизических параметров контакта титан$-$кремний при импульсном электронно-лучевом воздействии. Длительность импульса тока составляла ${\sim10}$ мкс. Показано, что при электронной обработке стимулируются диффузия атомов титана в кремниевую подложку, а также выход атомов кремния на поверхность образца с образованием силицида и дисилицида титана. Образование новых фаз влияет на изменение электрофизических параметров контакта. Методом обратного резерфордовского рассеяния исследуется граница раздела титан$-$кремний после электронной обработки контакта.