RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1991, том 25, выпуск 4, страницы 588–595 (Mi phts4257)

Структурные превращения при нагреве монокристаллов кремния

В. М. Глазов, В. Б. Кольцов, В. З. Куцова, А. Р. Регель, Ю. Н. Таран, Г. Г. Тимошина, К. И. Узлов, Э. С. Фалькевич


Аннотация: Приведены результаты исследования температурной зависимости относительного удлинения, коэффициента линейного расширения, электрофизических свойств, а также данные дифференциально-термического анализа кремния различных промышленных марок в твердом состоянии. На температурной зависимости в определенных температурных интервалах отмечены немонотонности исследованных свойств. Сделан вывод, что отмеченные немонотонности обусловлены структурными превращениями в кремнии, протекающими при изменении температуры. Результаты рентгеновского анализа подтвердили сделанное на основе исследования физических свойств заключение о структурных превращениях в кремнии. Многократное термоциклирование в интервале температур 453$-$953 K позволило зафиксировать ромбическую модификацию кремния при комнатной температуре.



© МИАН, 2024