Краткие сообщения

Особенности дефектообразования в кремнии при высокоэнергетичной имплантации бора

Ф. Аль-Баккур, А. Ю. Дидык, И. П. Козлов, В. Б. Оджаев, В. В. Петров, В. С. Просолович, А. С. Сохацкий