Аннотация:
С использованием методики, включающей в себя газофазную
сублимационную эпитаксию и ионную имплантацию алюминия, получены на основе
карбида кремния политипа $6H$ светодиоды с чисто зеленым излучением
(${\lambda_{\max}=530}$ нм). Приводятся электрические и люминесцентные
характеристики светодиодов, свидетельствующие об их высокой эффективности.
Сила света при рабочем токе 20 мА достигает 45 мкд при полуширине
диаграммы направленности $16^{\circ}$. Мощность излучения
составляет 5$-$15 мкВт. Светодиоды имеют сравнительно низкую
инерционность (${\tau<100}$ нc) и отличаются повышенной стабильностью
и эксплуатационной надежностью.