Экранировка флуктуаций поверхностного потенциала в МДП структурах

Рассмотрена экранировка флуктуации поверхностного потенциала поверхностными состояниями (ПС) на границе раздела полупроводник–диэлектрик. Показано, что при доминирующей экранировке ПС существует оптимальный пространственный масштаб флуктуаций потенциала, обусловливающий максимальную амплитуду флуктуаций. Анализируется применимость уравнения электронейтральности и влияние флуктуации на параметры МДП структур.