А. В. Короткевич, В. А. Никитин, Б. Л. Эйдельман, “Кинетика СВЧ фотопроводимости в подложках Si с внутренним геттером и бездефектной зоной”, Физика и техника полупроводников, 1992, том 26, выпуск 5,страницы 942

Кинетика СВЧ фотопроводимости в подложках Si с внутренним геттером и бездефектной зоной

А. В. Короткевич, В. А. Никитин, Б. Л. Эйдельман

Аннотация: Представлены экспериментальные результаты и теоретическое обоснование методики определения величины бездефектной зоны в геттерированных подложках бесконтактным неразрушающим способом из сравнения сигналов кинетики СВЧ фотопроводимости после импульсного лазерного возбуждения на длинах волн 1.06 и 0.53 мкм.