Аннотация:
Исследована фотолюминесценция (ФЛ) компенсированных и
некомпенсированных эпитаксиальных слоев SiC-$6H$. Слои выращивались методом
бесконтейнерной жидкостной эпитаксии и содержали различные концентрации азота
(донор) и алюминия (акцептор). Исследование спектров донорно-акцепторной
люминесценции показало, что при уровне легирования
${3\cdot10^{18}\,\text{см}^{-3}}$ в сильно компенсированных образцах
проявляется потенциальный рельеф зон. Показано, что высокотемпературная
ФЛ (${500\div900}$ K) SiC-$6H$ обусловлена в основном излучательной аннигиляцией
свободного экситона. Установлено, что при высокой температуре форма экситонной
полосы гауссова. Обсуждаются возможные факторы уширения экситонной полосы.
В сильно компенсированных образцах наблюдается сдвиг максимума полосы
экситонной люминесценции в область меньших энергий. Высказано предположение о
локализации экситона в зонном рельефе. Обнаружена сильная зависимость
интенсивности люминесценции свободного экситона от концентрации акцептора A1.
Предложена модель распада экситона в окрестности акцептора A1
в компенсированном карбиде кремния.