Геттерирование в кремнии в условиях генерации вакансий

Эффективность процесса трехступенчатого геттерирования проанализирована в зависимости от толщины окисла, выращенного как на рабочей, так и на нерабочей поверхностях кремниевой пластины.
Показано, что наиболее интенсивно геттерирование остаточных примесей происходит при наличии тонкого окисла (в условиях генерации неравновесных собственных междоузельных атомов) или толстого окисла (в условиях генерации неравновесных вакансий). Промежуточная область толщин окисла, характеризующаяся интенсивной аннигиляцией вакансий и собственных междоузельных атомов вблизи поверхности пластины, не позволяет реализовать условия эффективного геттерирования.