Аннотация:
Приведены характеристики различных карбид-кремниевых фотоприемников:
1) на барьере Шоттки; 2) на $p{-}n$-переходах, полученных эпитаксией
и диффузией алюминия и бора; 3) лавинные фотодиоды. Показано, что они
обладают высокой эффективностью в УФ области спектра с максимумом
чувствительности 250$-$330 нм и сохраняют работоспособность до
температур 500$^{\circ}$C.