RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1992, том 26, выпуск 6, страницы 1096–1099 (Mi phts4716)

Определение сечения фотоионизации легирующих примесей в полупроводниках из измерений эффекта Холла

А. С. Веденеев, А. Г. Ждан, В. В. Рыльков, А. Г. Шафран


Аннотация: Определено сечение фотоионизации примесей Ga в Si $\langle\text{Ga}\rangle$ исходя из измерений фото-холл-эффекта. Развитый метод не чувствителен к выбору толщины образца, качеству освещаемой поверхности и флуктуациям активности возбуждающего излучения.



© МИАН, 2024