А. С. Закиров, Х. Т. Игамбердыев, А. Т. Мамадалимов, П. К. Хабибуллаев, “Лазерно-стимулированная диффузия золота в кремнии”, Физика и техника полупроводников, 1992, том 26, выпуск 7,страницы 1282

Лазерно-стимулированная диффузия золота в кремнии

А. С. Закиров, Х. Т. Игамбердыев, А. Т. Мамадалимов, П. К. Хабибуллаев

Аннотация: Исследована диффузия золота в кремнии при непрерывной лазерной обработке с применением сканирующего устройства Установлено, что при мощности лазерного излучения $10^{5}$ Вт/см$^{2}$ введение золота в кремний происходит в поле градиента температур, в котором наблюдается глубина проникновения, достигающая ${>100}$ мкм На основе полученных диффузионных и электрофизических характеристик предложен механизм лазерно-стимулированной диффузии золота в кремнии, учитывающий кроме высокотемпературного нагрева и фотоионизационные процессы.