Аннотация:
Методом температурных зависимостей поверхностной
фотоэдс исследованы электронные свойства системы Si$-$SiO$_{2}$
после воздействия излучения рубинового лазера наносекундной ддительности с
энергией импульса, изменяющейся в пределах ${W=0{-}1\,\text{Дж/см}^{2}}$.
Получены немонотонные зависимости поверхностного потенциала кремния от
энергии импульса $W$ с резким изменением величины и знака потенциала при
${W=0.7\,\text{Дж/см}^{2}}$ (энергия плавления кремния). Рассчитаны плотности
быстрых поверхностных электронных состояний (ПЭС) на границе Si$-$SiO$_{2}$
после облучения системы. Показано, что плотность ПЭС и их распределение в
запрещенной зоне изменяются с ростом $W$. При энергиях
${W<0.5\,\text{Дж/см}^{2}}$ плотность ПЭС уменьшается, что связано с
переходом системы Si$-$SiO$_{2}$ в более равновесное состояние.
При ${W\geqslant0.6\,\text{Дж/см}^{2}}$ наблюдается рост плотности ПЭС в связи с
преобладанием дефектообразования на границе Si$-$S1O$_{2}$.