Краткие сообщения

Об аномальной дозовой зависимости концентрации $VV$-центров в кремнии при ионной имплантации азота

Н. Е. Лобанова, В. В. Карзанов, Д. И. Тетельбаум


Поступила в редакцию: 11.07.1991
Принята в печать: 04.03.1992