Оптимизация корреляционной процедуры в методах термостимулированной релаксационной спектроскопии полупроводников

При исследовании уровней примесей, точечных дефектов и дислокаций в полупроводниках методами релаксационной спектроскопии возникает задача разрешения близлежащих максимумов. Основным способом решения этой задачи является правильный выбор корреляционной процедуры обработки сигналов релаксации. Проведено сравнение чувствительности и разрешающей способности корреляционных методов с различными весовыми функциями. Сравнение основано на расчете параметров коррелятора в зависимости от времени задержки $T_{c}$ весовой функции относительно начала релаксации. Показано, что разрешающая способность коррелятора может быть заметно улучшена правильным выбором $T_{c}$. Построена параметрическая диаграмма, позволяющая наглядно сравнить известные весовые функции и выбрать коррелятор, соответствующий экспериментальным задачам. Результаты математического моделирования подтверждены экспериментально полученными спектрами DLTS с различными корреляционными процедурами.