Ю. А. Водаков, А. И. Гирка, А. О. Константинов, Е. Н. Мохов, А. Д. Роенков, С. В. Свирида, В. В. Семенов, В. И. Соколов, А. В. Шишкин, “Светодиоды на основе карбида кремния, облученного быстрыми электронами”, Физика и техника полупроводников, 1992, том 26, выпуск 11,страницы 1857

Светодиоды на основе карбида кремния, облученного быстрыми электронами

Ю. А. Водаков, А. И. Гирка, А. О. Константинов, Е. Н. Мохов, А. Д. Роенков, С. В. Свирида, В. В. Семенов, В. И. Соколов, А. В. Шишкин

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Зеленые светодиоды (максимум излучения соответствует длинам волн ${510\div530}$ нм) изготовлены с использованием методики, включающей в себя облучение быстрыми электронами и последующий отжиг диодных структур на основе карбида кремния политипа $6H$, изготовленных газофазной эпитаксией. Отмечается повышенное быстродействие таких светодиодов и линейность ток-яркостных характеристик в отличие от аналогичных светодиодов, полученных с помощью ионной имплантации алюминия.

Поступила в редакцию: 08.04.1992
Принята в печать: 10.04.1992