Аннотация:
Зеленые светодиоды (максимум излучения соответствует длинам
волн ${510\div530}$ нм) изготовлены с
использованием методики, включающей в себя облучение быстрыми электронами
и последующий отжиг диодных структур на основе карбида кремния политипа $6H$,
изготовленных газофазной эпитаксией. Отмечается повышенное быстродействие
таких светодиодов и линейность ток-яркостных характеристик в отличие
от аналогичных светодиодов, полученных с помощью ионной имплантации алюминия.