Физика и техника полупроводников,
1992, том 26, выпуск 12,страницы 2017–2023(Mi phts4869)
Определение электронных характеристик границ раздела
полупроводник$-$диэлектрик по полевым зависимостям электропроводности
и емкости инверсионных каналов МДП транзисторов
Аннотация:
Развита методика спектроскопии границы раздела
полупроводник$-$диэлектрик промышленных МДП транзисторов с коротким каналом,
основанная на комбинации методов эффекта поля и
«расщепленных» вольт-фарадных характеристик. По зависимости
электропроводности канала от потенциала затвора определяются низкочастотная
вольт-фарадная характеристика транзистора, потенциал границы раздела и
функция плотности пограничных состояний в интервале энергий,
примыкающем к краю зоны неосновных носителей заряда. Дополнительные
измерения вольт-фарадных характеристик позволяют оценивать паразитные
емкости между затвором и областями истока и стока
и устанавливать факт изменения длины канала с напряжением затвора.