Физика и техника полупроводников,
1992, том 26, выпуск 12,страницы 2024–2030(Mi phts4870)
Динамические вольт-амперные характеристики фоточувствительных
слоистых структур на основе сильно легированного Si$\langle\text{As}\rangle$
с блокированной проводимостью по примесной зоне
А. Г. Ждан, А. М. Козлов, Т. А. Костинская, В. Ф. Кочеров, В. В. Рыльков
Аннотация:
В приближении шоттки-слоев обеднения рассчитаны переходные
характеристики тока, протекающего через полупроводниковую фоточувствительную
структуру с блокированной проводимостью по примесной зоне (БППЗ) при
произвольном законе изменения приложенного к ней напряжения $V(t)$.
Показано, что наблюдения динамических вольт-амперных характеристик (ДВАХ)
БППЗ структур при треугольных сигналах напряжения ${V(t)=\beta t}$
(${\beta=\mathrm{const}\lessgtr0}$) позволяют определять основные физические
параметры структуры — толщины активного и блокирующего слоев,
концентрацию компенсирующей примеси в активном слое, проводимость
по примесной зоне, а также идентифицировать присутствие в
блокирующем слое избыточного электрического заряда.
В области гелиевых температур (${T \leqslant10}$ K) исследованы ДВАХ
(${\beta\simeq\pm10^{-2}}$ В/с) $n$-Si$\langle\text{As}\rangle$ БППЗ
структур. При ${T\gtrsim6}$ K ДВАХ квазистационарны. Они согласуются
с результатами расчетов и определяются преимущественно процессом перестройки
области пространственного заряда (ОПЗ), обедненной положительно заряженными
донорами. При ${T\lesssim6}$ K формирование ОПЗ протекает в существенно
нестационарных условиях. В этой ситуации значительную роль играют полевые
эффекты, вызывающие разрушение корреляций в пространственном расположении
ионизованных доноров и акцепторов и увеличение $\sigma$. Учет полевой
зависимости $\sigma$ позволяет удовлетворительно описать
экспериментальные ДВАХ и при ${T\gtrsim6}$ K.