RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2021, том 55, выпуск 9, страницы 748–753 (Mi phts4977)

Эта публикация цитируется в 5 статьях

XXV Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника", Нижний Новгород, 9-12 марта 2021 г.

Получение атомарно-чистых и структурно-упорядоченных поверхностей эпитаксиальных пленок CdTe для последующей эпитаксии

А. С. Тарасовa, Н. Н. Михайловab, С. А. Дворецкийac, Р. В. Менщиковa, И. Н. Ужаковa, А. С. Кожуховa, Е. В. Федосенкоa, О. Е. Терещенкоab

a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
b Новосибирский государственный университет
c Томский государственный университет

Аннотация: Получена атомарно-чистая и структурно-упорядоченная поверхность слоя CdTe подложки (013) GaAs/ZnTe/CdTe после хранения на воздухе с помощью обработки в изопропиловом спирте, насыщенном парами соляной кислоты, и дальнейшего термического отжига в сверхвысоком вакууме. Показано, что химическая обработка поверхности CdTe приводит к удалению собственных оксидов и обогащению поверхности слоем элементного теллура. Во время прогрева в вакууме наблюдается две стадии изменения состояния поверхности ($\sim$ 125$^\circ$С и $\le$ 250$^\circ$С). При $T>$ 250$^\circ$С происходят десорбция элементного теллура и формирование Te-стабилизированной структуры (1$\times$1) CdTe (013).

Ключевые слова: поверхность, подложка GaAs, HgCdTe, PbSnTe, РФЭС, ДБЭО, одноволновая эллипсометрия, химическая подготовка.

Поступила в редакцию: 12.04.2021
Исправленный вариант: 19.04.2021
Принята в печать: 19.04.2021

DOI: 10.21883/FTP.2021.09.51289.18


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2021, 55, s62–s66

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024