RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2021, том 55, выпуск 5, страницы 443–449 (Mi phts5039)

Аморфные, стеклообразные, органические полупроводники

Морфология поверхности и оптические свойства стеклообразных пленок селена после лазерной модификации

Е. В. Александрович, А. Н. Александрович, С. Г. Быстров, Г. М. Михеев

Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения Российской академии наук, г. Ижевск

Аннотация: Представлены результаты исследований воздействия маломощного излучения He-Ne-лазера на длине волны 632.8 нм на морфологию поверхности стеклообразных (аморфных) пленок Se толщиной $\sim$ 1 мкм, синтезированных вакуумно-термическим напылением. Показано, что в зависимости от интенсивности и времени воздействия излучения лазерная модификация пленок сопровождается различным изменением их шероховатости и появлением на поверхности исследуемых пленок структур, отличающихся размерами и фазовым составом. Формирование на поверхности лазерно-модифицированных пленок цепей субмикронных хребтов приводит к увеличению их коэффициента отражения, показателя преломления и уменьшению оптической толщины.

Ключевые слова: стеклообразный селен, пленки, поверхность, лазерная модификация, наноструктуры, атомно-силовая микроскопия.

Поступила в редакцию: 13.01.2021
Исправленный вариант: 21.01.2021
Принята в печать: 21.01.2021

DOI: 10.21883/FTP.2021.05.50835.9604


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2021, 55, s1–s7

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024