Модификация соотношения $sp^2/sp^3$-гибридного углерода в PECVD пленках DLC

Известно, что слои алмазоподобного углерода DLC (diamond-like carbon) состоят из фракций углерода как с “графитовой” $sp^2$-гибридизацией электронных орбиталей, так и с “алмазной” $sp^3$-гибридизацией. Количественное соотношение $sp^2$- и $sp^3$-фракций сильно влияет на структурные, морфологические, прочностные, оптические и электрофизические свойства пленок. В данной работе исследуется возможность управления долями $sp^2$- и $sp^3$-гибридного углерода в пленках DLC, полученных методом плазмохимического осаждения на подложках монокристаллического кремния и алмаза. Демонстрируются способы варьирования доли $sp^3$-фракции как непосредственно in situ при получении пленки путем изменения мощности емкостного и индуктивно-связанного разрядов, так и ex situ с помощью термического отжига и электрического поля.