RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2020, том 54, выпуск 9, страницы 868–872 (Mi phts5162)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10-13 марта 2020 г.

Углеродные пленки, полученные импульсным лазерным методом, и их влияние на свойства GaAs-структур

Ю. А. Даниловab, М. В. Ведьb, О. В. Вихроваb, Н. В. Дикареваb, М. Н. Дроздовc, Б. Н. Звонковb, В. А. Ковальскийd, Р. Н. Крюковb, А. В. Кудринab, В. П. Лесниковb, П. А. Юнинc, А. М. Андреевa

a Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
b Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, г. Нижний Новгород
c Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
d Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Московская область, Черноголовка, Россия

Аннотация: Исследованы свойства углеродных слоев, полученных на подложках GaAs методом импульсного лазерного распыления пирографита в вакууме. Оптимальной температурой процесса нанесения является 500$^\circ$C; при этом скорость роста углеродных слоев составляла 0.19 нм/с. Спектры комбинационного рассеяния света соответствовали спектру нанокристаллического графита. Углеродные слои имели $p$-тип проводимости, демонстрировали полупроводниковый характер температурной зависимости сопротивления и были использованы в качестве проводящего прозрачного покрытия GaAs-структур с квантовой ямой InGaAs. Структуры обнаруживают значительную электролюминесценцию даже при невысоких токах накачки и фоточувствительность в диапазоне 1.5–2.2 эВ вплоть до комнатной температуры измерений.

Ключевые слова: углеродные нанослои, графен, электролюминесценция.

Поступила в редакцию: 15.04.2020
Исправленный вариант: 21.04.2020
Принята в печать: 21.04.2020

DOI: 10.21883/FTP.2020.09.49823.15


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2020, 54:9, 1059–1063

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024