RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2020, том 54, выпуск 8, страницы 729–733 (Mi phts5188)

Эта публикация цитируется в 1 статье

Физика полупроводниковых приборов

Исследование радиационных эффектов в МОП-транзиcторе с $p$-каналом

А. В. Кузьминова, Н. А. Куликов, В. Д. Попов

Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва

Аннотация: Рассматривается воздействие $\gamma$-излучения на образование поверхностных дефектов на границе раздела Si–SiO$_{2}$ в МОП-транзисторе с $p$-каналом в пассивном режиме. Наблюдалось несколько процессов поверхностного дефектообразования. Показана роль молекулярного водорода в подзатворном оксиде МОП-транзистора и “горячих” электронов, образующихся в приповерхностной области кремния.

Ключевые слова: МОП-транзистор, $p$-канал, $\gamma$-излучение, молекулярный водород, “горячие” электроны.

Поступила в редакцию: 18.03.2020
Исправленный вариант: 31.03.2020
Принята в печать: 31.03.2020

DOI: 10.21883/FTP.2020.08.49643.9397


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2020, 54:8, 877–881

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024