Низкотемпературная проводимость инверсионных слоев с большой плотностью поверхностных состояний

Исследована температурная зависимость проводимости инверсионных слоев кремниевых МДП структур с большой плотностью поверхностных состояний. Установлено, что данные зависимости не описываются одноэлектронной моделью порога подвижности. Полученные результаты интерпретируются с учетом кулоновского взаимодействия между носителями. Последнее создает щель в плотности состояний на уровне Ферми. С увеличением температуры щель схлопывается и активационная проводимость переходит в металлическую. Построена диаграмма состояний носителей в инверсионном слое в координатах концентрация дырок–температура, определяющая области локализации и делокализации носителей.