Параметры полупроводниковых пленок ZnO, легированных 3$d$-примесями Mn, Fe

Исследовано влияние примесей Fe, Mn на магнитные параметры широкозонных полупроводниковых пленок ZnO, полученных методом высокочастотного распыления при широком варьировании концентрации дефектов. Введение магнитных примесей Mn, Fe приводит наличию магнитоупорядоченного состояния в полупроводниковой матрице с различным положением оси легкого намагничивания, расположенной в случае легирования Mn перпендикулярно плоскости пленки, в случае Fe – в плоскости пленки ZnO.