RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2020, том 54, выпуск 1, страницы 90–96 (Mi phts5314)

Эта публикация цитируется в 6 статьях

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Формирование наночастиц Au и особенности травления подложки Si после облучения атомарными и молекулярными ионами

М. С. Тужилкинa, П. Г. Беспаловаa, М. В. Мишинa, И. Е. Колесниковb, К. В. Карабешкинc, П. А. Карасевa, А. И. Титовa

a Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
b Ресурсный центр "Оптические и лазерные методы исследования вещества", Санкт-Петербургский государственный университет
c Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "ЭЛАР", г. Санкт-Петербург

Аннотация: Исследовано образованиe наночастиц при облучении тонких металлических плeнок золота быстрыми атомарными и молекулярными ионами. Полученные структуры были использованы для получения пористого кремния методом металл-ассистируемого каталитического химического травления. Размер получаемых наночастиц золота и структура пористого кремния сильно зависят от типа и флюенса падающих частиц. Локальное повышение плотности выделения энергии у поверхности мишени при бомбардировке молекулярными ионами позволяет существенно снизить дозы, необходимые для формирования заданных морфологий плeнки и распределения наночастиц на поверхности, оказывая в то же время меньшее радиационное воздействие на подложку. Форма спектров флуоресценции и спектров возбуждения флуоресценции пористого кремния, полученного из облученных структур, не зависит от параметров облучения, но изменяется в зависимости от концентрации травящего раствора.

Ключевые слова: золотые наночастицы, ионное облучение, молекулярные ионы, пористый кремний, флуоресценция.

Поступила в редакцию: 23.07.2019
Исправленный вариант: 29.07.2019
Принята в печать: 29.07.2019

DOI: 10.21883/FTP.2020.01.48782.9222


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2020, 54:1, 137–143

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024