RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2019, том 53, выпуск 10, страницы 1437–1443 (Mi phts5393)

Углеродные системы

Резкое уменьшение подвижности дырок при снижении внешним напряжением их двумерной концентрации в дельта-допированных бором слоях алмаза

В. А. Кукушкинab

a Институт прикладной физики Российской академии наук, г. Нижний Новгород
b Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского

Аннотация: Аналитически и численно показано, что подвижность дырок в дельта-допированных (т. е. имеющих малую толщину порядка нескольких постоянных кристаллической решeтки) бором слоях алмаза падает с уменьшением их двумерной концентрации в процессе обеднения дельта-допированного слоя внешним напряжением. Данное падение наиболее резко выражено для максимальных начальных двумерных концентраций дырок $\sim$3 $\cdot$ 10$^{13}$ см$^{-2}$ (ограниченных сверху условием возможности их существенного уменьшения без электрического пробоя алмаза) и объясняется снижением степени экранирования рассеивающих кулоновских потенциалов ионизованных атомов бора и увеличением эффективности рассеяния на них вырожденных дырок вследствие уменьшения кинетической энергии последних. Соответствующие вычисления транспортного сечения рассеяния дырок проведены без использования борновского приближения (т. е. теории возмущений), условия применимости которого в дельта-допированных бором слоях алмаза не выполняются. Предсказанный эффект может быть использован при конструировании полевых транзисторов с дельта-допированными проводящими каналами на алмазе для увеличения эффективности модуляции тока исток-сток напряжением на управляющем затворе.

Ключевые слова: двумерное экранирование кулоновского потенциала, дельт-допированный слой, осажденный из газовой фазы алмаза, подвижность дырок, полевой транзистор.

Поступила в редакцию: 09.07.2018
Исправленный вариант: 06.02.2019
Принята в печать: 25.04.2019

DOI: 10.21883/FTP.2019.10.48304.8954


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2019, 53:10, 1398–1404

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024