RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2019, том 53, выпуск 9, страницы 1250–1256 (Mi phts5411)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

XXIII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Нижний Новгород, 11–14 марта 2019 г.

Расчетно-экспериментальное моделирование обратимых сбоев ячеек статической памяти субмикронных микросхем при воздействии потоков нейтронов

А. С. Пузановab, М. М. Венедиктовab, С. В. Оболенскийab, В. А. Козловac

a Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
b Филиал РФЯЦ–ВНИИЭФ "Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова", Нижний Новгород, Россия
c Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Проведено моделирование обратимых одиночных сбоев в тестовых образцах микросхем статической памяти с проектными нормами 0.5, 0.35, 0.25 и 0.1 мкм при воздействии потоков нейтронов с различной энергией. Теоретически и экспериментально показано, что в современных изделиях микро- и наноэлектроники могут иметь место обратимые одиночные сбои при воздействии потока нейтронов спектра деления, вызванные прохождением первичных атомов отдачи и продуктов ядерных реакций вдоль поверхности микросхемы перпендикулярно линиям электрического тока в области вблизи стока транзистора. На основе предложенной модели проведена интерпретация серии облучательных экспериментов микросхем статической памяти с проектными нормами 0.35 мкм.

Ключевые слова: переходная ионизационная реакция, обратимый одиночный сбой, кремний-на-изоляторе.

Поступила в редакцию: 24.04.2019
Исправленный вариант: 29.04.2019
Принята в печать: 29.04.2019

DOI: 10.21883/FTP.2019.09.48133.16


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2019, 53:9, 1222–1228

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024