RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2019, том 53, выпуск 9, страницы 1293–1296 (Mi phts5420)

XXIII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Нижний Новгород, 11–14 марта 2019 г.

Усиленная фотолюминесценция сильно легированных слоев Ge/Si(001) $n$-типа проводимости

Д. С. Прохоровa, В. Г. Шенгуровa, С. А. Денисовa, Д. О. Филатовa, А. В. Здоровейщевa, В. Ю. Чалковa, А. В. Зайцевa, М. В. Ведьa, М. В. Дорохинa, Н. А. Байдаковаb

a Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
b Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Исследованы спектры фотолюминесценции эпитаксиальных структур $n^+$-Ge : P/Si(001), выращенных методом горячей проволоки и легированных фосфором из источника на базе термически разлагаемого GaP до максимальной концентрации электронов 1 $\cdot$ 10$^{20}$ см$^{-3}$. Изучено влияние на спектры фотолюминесценции уровня легирования слоев $n^+$-Ge : P, а также быстрого термического отжига. Продемонстрирована перспективность использования эпитаксиальных слоев $n^+$-Ge : P/Si(001), выращенных методом горячей проволоки, в качестве активных областей светоизлучающих оптоэлектронных приборов ближнего инфракрасного диапазона.

Ключевые слова: эпитаксиальные слои германия на кремнии, метод горячей проволоки, легирование, фотолюминесценция.

Поступила в редакцию: 24.04.2019
Исправленный вариант: 29.04.2019
Принята в печать: 29.04.2019

DOI: 10.21883/FTP.2019.09.48142.26


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2019, 53:9, 1262–1265

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024