Темплатный синтез монодисперсных сферических нанопористых частиц кремния субмикронного размера

Получены субмикронные монодисперсные сферические нанопористые частицы кремния с использованием мезопористых частиц кремнезема в качестве темплата. Кремний синтезирован в порах монодисперсных частиц кремнезема путем термического разложения моносилана, затем темплат ($a$-SiO$_{2}$) удален методом жидкостного химического травления. Частицы имеют низкое среднеквадратичное отклонение размеров (не более 10%), обладают большими удельной поверхностью (250 м$^{2}$/г) и объемом пор (0.5 cм$^{3}$/г). Продемонстрировано, что полученные частицы люминесцируют в видимом и ближнем ИК спектральных диапазонах.